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美国FEI电子显微镜
扫描电子显微镜 (SEM) 透射电子显微镜 (TEM) 双束电子显微镜(FIB/SEM)
                 
聚焦离子束 (FIB) 仪器 专业产品    
 
 
   Verios™ XHR 扫描电子显微镜
 

极高分辨率的扫描电子显微镜

Verios XHR SEM 系列扫描电子显微镜 (SEM)让科学家和工程师迅速看到以前无法视及的微观世界: 高灵敏的表面图像、以及俯视或从其它角度观看图像,分辨率可达到一纳米以下。 这款电镜上的一些重要突破在于它镜筒上采用了革命性的单色枪技术,它使显微学家可完美地把高空间分辨率和超浅入射电子束结合在一起。 Verios XHR SEM 系列扫描电子显微镜 (SEM) 在不受样品大小限制的条件下,既扩展了传统纳米尺度扫描电子显微镜的成像和分析范围与能力,同时又具备相当于传统扫描电子显微镜 (SEM) 的速度和易用性。
     

主要优点

  • 亚纳米分辨率、1 kV - 30 kV
  • 表面灵敏高分辨率成像,低至 20 V 的着陆能量
  • 样品尺寸、形状、成分、制备不会互相制约
  • 包括分析和原型制造的多样应用性
  • 简单易学、易用

规格

着陆电压 1 keV - 30 keV
探针电流 E-束:0.8 pA 到100 nA
样品尺寸 最大尺寸: 直径100 mm 无限制旋转

 

 

 

 

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