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美国FEI电子显微镜
扫描电子显微镜 (SEM) 透射电子显微镜 (TEM) 双束电子显微镜(FIB/SEM)
                 
聚焦离子束 (FIB) 仪器 专业产品    
 
 
   Nova™ NanoSEM 扫描电子显微镜
 

适合各种应用的卓越纳米级研究工具

Nova NanoSEM50系列可帮助取得更大成就。 NanoSEM50系列还引入了最低速度新一代的高灵敏可伸缩SE/ BSE和干 探测器和多功能的SE/ BSE过滤功能,使感兴趣的信息最低速度最佳化。智能扫描模式可用于尽可能避免成像假象。
     

主要优点

  • 场发射 SEM、超稳定高电流 Schottky 电子枪
  • 先进的光学和探测技术,包括沉浸模式、射束减速、透镜内 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM,可实现最佳信息选择和图像优化
  • 低至 50 V 的射束着陆能量
  • 1.4 nm @ 1 kV、无射束减速
  • 全球唯一真正高分辨率的低真空 FESEM: 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
  • 高达 200 nA 的高真空或低真空分析
  • 整合式 16 位扫描/制图引擎
  • 超洁净、无油滚动和涡轮抽气真空系统
  • 150 x 150 mm 高精密、高稳定压电样品台 (Nova NanoSEM 650)

规格

辨率 高真空
15 kV (TLD)
1 kV (TLD、无 BD)
100 V (DBS)
15 kV, 5 nA
1.0 nm
1.4 nm
3.5 nm
3.0 nm
分辨率 低真空 3 kV 和 30 Pa (Helix) 1.8 nm
射束电流   高达 200 nA
着陆电压范围   50 V - 30 kV
样品台 X x Y x Z (mm) 110 x 110 x 25
150 x 150 x 10
机室   大试件室
探测 透镜内
透镜下、大角度探测器
TLD SE 和 BSE
高灵敏度 DBS (SE/BSE)
 

 

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